在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，晶圓需要經(jīng)歷一系列高精度的蝕刻、涂層、光刻等工藝，這些工藝都需要在特定的溫度范圍內(nèi)進(jìn)行，其所在生產(chǎn)車(chē)間環(huán)境參數(shù)的微小偏差，可能會(huì)導(dǎo)致晶圓材料的物理性質(zhì)發(fā)生變化，導(dǎo)致產(chǎn)品性能大幅下降。

依托自主研發(fā)技術(shù)，江蘇克力空調(diào)有限公司的高精密恒溫恒濕系統(tǒng)的溫控精度可達(dá) ±0.07℃，為半導(dǎo)體先進(jìn)制程提供環(huán)境保障。目前，超高精密恒溫恒濕環(huán)控系統(tǒng)已服務(wù)多家芯片半導(dǎo)體領(lǐng)軍企業(yè)以及重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。

克力超高精密環(huán)控系統(tǒng)

三大自研科技精準(zhǔn)護(hù)航

在精密環(huán)境控制領(lǐng)域，核心技術(shù)的自主研發(fā)能力是衡量企業(yè)實(shí)力的關(guān)鍵標(biāo)尺。克力憑借三大核心自研科技 —— 超高精密傳感器、超高精密控制器、超高精密執(zhí)行器，構(gòu)建起全鏈路自主可控的技術(shù)體系，為環(huán)境超高精度控制提供底層支撐。

精準(zhǔn)感知 | 超高精密傳感器

環(huán)境參數(shù)的精準(zhǔn)捕捉是高精度控制的前提，克力搭載自主研發(fā)傳感技術(shù)，實(shí)時(shí)捕捉溫度等關(guān)鍵參數(shù)的細(xì)微波動(dòng)。該傳感器經(jīng)國(guó)家計(jì)量檢測(cè)機(jī)構(gòu)權(quán)威認(rèn)證，測(cè)溫精度達(dá)到 ±0.001℃的超高水準(zhǔn)，有效規(guī)避外部因素對(duì)數(shù)據(jù)采集的干擾，提供真實(shí)、有效的原始數(shù)據(jù)支撐。目前，這一精度表現(xiàn)已達(dá)到國(guó)內(nèi)行業(yè)TOP3水平。

智能解析 | 超高精密控制器

依托克力自主研發(fā)的智能控制算法，結(jié)合高精度傳感反饋機(jī)制，實(shí)現(xiàn)毫秒級(jí)快速響應(yīng)與智能解析。該技術(shù)可精準(zhǔn)匹配不同場(chǎng)景下的控制需求，確保調(diào)控動(dòng)作的及時(shí)性與準(zhǔn)確性。目前，相關(guān)技術(shù)已獲得多項(xiàng)發(fā)明專(zhuān)利及軟件著作權(quán)，不僅體現(xiàn)技術(shù)的合規(guī)性與先進(jìn)性，更以標(biāo)準(zhǔn)化的技術(shù)領(lǐng)航行業(yè)發(fā)展。

協(xié)同保障 | 超高精密執(zhí)行器

在執(zhí)行層面，克力通過(guò)超高精密執(zhí)行器與精密傳感器、智能控制器的深度協(xié)同，構(gòu)建起閉環(huán)式精密執(zhí)行體系。該體系以毫秒級(jí)響應(yīng)速度，將控制器輸出的調(diào)控指令精準(zhǔn)轉(zhuǎn)化為執(zhí)行動(dòng)作，實(shí)時(shí)修正環(huán)境參數(shù)偏差，確保系統(tǒng)始終維持在預(yù)設(shè)的高精度運(yùn)行區(qū)間。

24小時(shí)不間斷

克力項(xiàng)目現(xiàn)場(chǎng)實(shí)時(shí)檢測(cè)

在克力某半導(dǎo)體光刻工藝實(shí)驗(yàn)室項(xiàng)目中，環(huán)境要求需維持23士0.3°C、45士3%RH的嚴(yán)格條件，確保掩膜版與硅片熱膨脹系數(shù)匹配，減少套刻誤差。克力空調(diào)超高精密恒溫恒濕系統(tǒng)24小時(shí)穩(wěn)定度經(jīng)中國(guó)計(jì)量學(xué)院檢測(cè)：在設(shè)定點(diǎn)23℃下，溫度波動(dòng)僅為 23℃±0.07℃，系統(tǒng)核心區(qū)域的溫度變化被精準(zhǔn)地控制在極其狹窄的區(qū)間內(nèi)； 在設(shè)定點(diǎn)45.0%相對(duì)濕度下，相對(duì)濕度波動(dòng)范圍僅為±1.6%；溫度均勻度達(dá) 0.18℃，相對(duì)濕度均勻度為 0.9%，共同保證整個(gè)空間環(huán)境參數(shù)的高度均一與穩(wěn)定。

克力定制化全周期解決方案

憑借不斷創(chuàng)新的技術(shù)實(shí)力、定制化解決方案與全周期服務(wù)保障，克力空調(diào)高精密恒溫恒濕環(huán)境控制系統(tǒng)已深度服務(wù)于全球半導(dǎo)體、光學(xué)、航空航天、精密制造、軍工領(lǐng)域的優(yōu)秀企業(yè)及重點(diǎn)科研院所。

江蘇克力空調(diào)有限公司以 ±0.07℃溫控精度、±1.6% RH 濕度控制精度為核心競(jìng)爭(zhēng)力，搭配自主研發(fā)的智能調(diào)控算法與節(jié)能技術(shù)，為各行業(yè)科研攻關(guān)與規(guī)模化生產(chǎn)提供恒穩(wěn)環(huán)境保障。相信在未來(lái)，克力空調(diào)將繼續(xù)秉持技術(shù)領(lǐng)先的理念，為市場(chǎng)帶來(lái)更多優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù)，引領(lǐng)行業(yè)邁向更高的精度標(biāo)準(zhǔn)。